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                            歡迎光臨洛陽市博萊曼特試驗電爐有限公司
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                            13523627863

                            管式電爐

                            石墨烯生長爐(PECVD)



                            產品說明:    
                            石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成 ,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
                            KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。
                            軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出
                            。

                            一:基本參數:
                            1: 加熱爐部分
                            2 :爐膛模式 開啟式爐膛
                            3 :顯示模式 觸摸屏
                            4: 極限溫度 1400℃
                            5 :工作溫度 ≤1350℃
                            6: 升溫速率 建議10℃/Min   Max:30℃/Min
                            7 :預熱溫區長度 150mm
                            8 :主溫區長度 300mm
                            9 :預熱溫區移動 手動移動
                            10: 主溫區移動 自動移動,速度可以設定
                            二:設備特點
                            1: 設備規格 2000*85*1400mm(長*寬*高)
                            2: 爐管長度 2000mm
                            3: 控溫精度 ±1℃
                            4: 密封方式 快速法蘭密封
                            5 :溫度曲線 30段"時間—溫度曲線"任意可設
                            6:預存曲線 可預存15條溫度曲線
                            7: 超溫報警
                            8:過流保護
                            9: 斷偶提示
                            10: 測溫元件 s型熱電偶
                            11: 爐膛材料 氧化鋁纖維
                            12: 射頻電源功率
                            13: 信號頻率 13.56 MHz±0.005%
                            14: 功率輸出范圍 5W-500W
                            15: 功率穩定度 ±0.1%
                            16: 諧波分量 ≤-50dbc
                            17 :供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
                            18: 整機效率 >=70%
                            19: 功率因素 >=90%
                            20 :冷卻方式 強制風冷
                               真空部分
                            1:工作電電壓 220V±10%  50~60HZ
                            2:功率 500瓦
                            3:抽氣速率 4L\s
                            4: 進氣口口徑 KF25
                            5:排氣口口徑 KF25
                            6:轉速 1450rpm
                            7:噪音 55dB
                            9:極限真空 4X10-2Pa
                            氣路系統
                            1,2,3,4氣路采用DB07系列
                            準確度:±1.5%
                            重復精度:±0.2%
                            響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
                            工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
                            整機系統特色
                            正壓測量 -100Kpa---100Kpa
                            真空測量  -100Kpa
                            超壓保護 超壓保護值可以設定
                            壓力恒定 恒定壓力值可以設定
                            智能氣路 氣路系統可以編程
                            氣路定時 通氣時間可以設定
                            射頻工作時間設定 輝光放電時間可以設定,自動關機
                            移動速度調節 移動速度可以設定
                            系統真空度 5Pa

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